半导体的常用掺杂技术主要有两种，即高扩散和离子注入 。掺入的杂质主要有两类，第一类是提供载流子的受主杂质或施主杂质，第二类是产生复合中心的重金属杂质 。
热扩散技术是对于施主或受主杂质的掺入，就需要进行较高温度的热扩散 。为了让晶体中产生出大量的晶格空位，所以，就必须对晶体加热 ， 让晶体原子的热运动加剧 ， 以使得某些原子获得足够高的能量而离开晶格位置、留下空位 。
【什么叫半导体掺杂技术】离子注入技术是为了使施主或受主杂质原子能够进入到晶体中去 ， 需要首先把杂质原子电离成离子，并用强电场加速、让这些离子获得很高的动能，然后再直接轰击晶体 。
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